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•调整了激光脉冲的空间和时间分布，对绒面损伤更低；•激光直掺，无需二次扩散；•更精细的激光功率控制方法，细致优化掺杂效果；•高速高精度的扫描系统，帮助栅线进行完美套印；•上下料双检
